紫外光源，也既是duv光刻机。



至于更下一步euv光刻机，那目前更是没有，之所以没有，这是因为目前没有这方面的需求。



当然真实原因是想研发这样的euv光刻机需要的成本也太高，不下于从零开始设计研发，所以目前市面上并没有这样的euv光刻机出现。



“没错，光刻机可不容易制造，你可能是其他领域的，所以有些想当然了，光是镜片就能把我们卡死。”



此时人群前排的一个博士，也说出了想造光刻机不容易。



在他看来光刻机最难的就是镜头部分。



光刻机需要的镜面误差十分之小，镜面误差不能大于零点零五微米。



这误差的范围用个形象的比喻，如果把镜面误差比喻成天涯海角岛的话，那么整个天涯海角岛的平整度误差不能大于十毫米！



而最为恐怖的是这样的镜片不只是一个，因为镜片这东西其实是有成像误差的，这成像误差在光刻生产环节的影响十分之严重。



因为偏差一点就会把整个芯片损坏，毕竟那可是几十纳米的大小，光照到了不该照的地方，最后制造成成品时肯定会短路！



所以为了解决成像误差，光刻机就需要非常多的镜片来解决成像误差的问题。



这也是为什么很多昂贵的摄像机或相机的镜头，为什么会那么长。



原因其实和光刻机面临的问题一样，为了解决成像误差的问题，所以相机镜头里面有着非常多的镜片！



这些镜片都是高精度镜片，相互之间精度要求非常之高，所以会出现一个镜头会比相机还贵的现象。



而且别的不说，就说后世的手机镜头模块里面，其实有着五到六片镜片！



而光刻机自然比相机与手机镜头要求高，所以现在的光刻机随着越来越深入几十纳米的层次。



要求越来越高，镜片的数量也越来越多，目前的光刻机镜片已经达到了十六到二十个镜片。



此时的人们不知道的是，在后世能生产几纳米芯片的euv光刻机镜片已经达到了二十九个！



这也是为什么林轩情愿花费一亿资金，也要把那堪称破烂的凤凰公司收购的原因。



因为这些镜片的要求太过严苛，为了那几个专精于镜面打磨的八级工，林轩也是舍得出一亿的资金把他们买下来！



“我们还是让林轩先生来决定到底怎么样吧。”



人群的前排中，王院士看着隐隐有开始争吵的趋势的诸位博士们与研究生们，他缓缓开口说着。



随着王院士的开口，瞬间，现场陷入了寂静。



随后人们将视线看向了林轩这里，在上千双眼睛的注视下，林轩也是缓缓开口道：



“关于光刻机的问题，我的决定是直接放弃深紫外光（duv）光刻机，直接研发极深紫外光（euv）光刻机！



而且euv光刻机还没有太多公司进入这个领域，在这个领域中也没有太多专利，正好方便我们自由发挥设，设计难度也大幅降低。”



听到林轩的决定，现场顿时有博士摇头不认同直接跳过euv光刻机，直接研发euv光刻机这点。



“林先生，虽然因为有kbbf晶体的原因，我们在光源上有优势。



但镜平还有成像定位系统可是一个难题，而且光刻机的零件性能要求十分之高，精度也十分之高，这种程度的要求我们能造得出来吗？aishangba.org



我不是说设计的问题，而是我们有那个材料，有那个加工精度吗？”



随着那个发出质疑的博士话语，现场陷入了绝对的寂静。



确实，国外为什么比我们先进，原因就是他们除了拥有丰富的工人队伍。



也就是有着庞大的八级工九级工队伍外，他们机器上的精度也十分惊人！



光刻机是一个涉及全领域的东西，它涉及光学，机械，材料，化学等等全方面的领域，被人称呼为工业之花。