皱起，“那你怎么，就觉得自己的想法可行？”



“我在脑子里跟电脑里都模拟过了，妥。虽然我的解法跟阿斯玛的做法不一定一致——我也说了，考虑到当前华夏的工业生产水平，相比起光刻机，我目前为了先做出来的方案一，更像是‘光刻房’。浸润系统的成本不是量产级别，我还需要根据实际生产的情况进行优化。”



……嘶，梁总匝巴嘴，心想姑且当李颜说的是真的，便继续问道：



“分辨率跟套刻精度呢？”



“跟阿斯玛的一样，193的波长，arfi光刻机，分辨率38n，得益于浸润式的提升，最小制程7n。”



梁总心里一边听一边狂喊“不可能”，喊得筋疲力尽。



李颜突然一拍脑袋，补充道，“当然，目前套刻精度受制于制作工艺精度，实际用起来，想要通过多重曝光达到7n制程，良品率应该不太妙。只能算是理论上没问题，实际应用的话，应该还是制程28n的芯片为主。”



“你说的要都是真的，你就是华夏这个行业的救世主。”范总用夸奖的方式把梁总心里的不可能喊了出来，“完完全全就是从无到有带领我国芯片产业往上跨了几个台阶！不可思议！”



梁总继续问，“掩模板、晶圆、光源等模组的定位与运作，你竟然能用手拆了之后复原，并且不影响他们的精度？”



“梁总，要是光刻机的精度取决于安装时手抖与否，那也太低级了。就算是全机械流水线安装，大型器械的精度难道就能匹配光刻机的零件精度吗？”



“那……”



“他们肯定都有互相匹配的卡位装置，就连螺丝转几圈都有具体规定，并且都留有细微的调整余量。像掩模板传送模组的精度，相比晶圆传输模组与双晶圆平台模组的精度要求也不一样，精度是可以借流程推进逐步提高的嘛。这东西内部的运作程序如何修正定位误差，才是最终成品能运作的核心问题。”李颜说道，“这种级别的精度本来就不可能光靠‘怎么放置’的机械操作保证。”



梁总听得很急，他有太多问题想问了：



“你怎么能知道螺丝转几圈这种东西？”



“我拆的时候记住了。”



“就……就靠记？”范总也懵逼了。



未免太离谱了吧，爽文也不能这么爽啊。



“当然不，螺丝拆了拧回去也有一定磨损，我毕竟徒手操作，有些地方不可能跟原来一模一样。所以需要完全理解这台机器，明白这里螺丝为什么转这么几圈，然后借计算机模型的辅助，确认我装回去的时候需要转几圈。”



好的更离谱了。



“那你说的，程序运作……难道你直接解析了机器的内部运行系统吗？”



“我写了个新的。”李颜笑道。



梁总突然感觉胸口涌出一股热血，马上就要喷涌而出。



他几次想说话，但是看着李颜根本问不出来，最后摇摇头，“我……没什么想问的了，范总，我现在就想把它运回去，咱们测一测能不能造28n制程的芯片。”



石磊听得心惊肉跳，凑近李颜耳朵悄悄问：“浸润系统你都拆了，回头还能用吗？”



“我又不是真的把全部零件拆干净……”李颜无奈，“也不是所有部件都能拆啊，石院，我这次不是一比一复刻，有些东西只要理解他的原理，然后用自己的方式实现就可以了。”



“你之前可跟我说的全部零件都知道尺寸知道作用知道相对位置啊。”



“我当时这么说，你都不信。我要是说我准备优化，看看人家怎么做然后用自己方式实现，你不得直接当我放屁？”



“嗨哟，”石磊笑，“那我可不敢。”



李颜耸肩，“而且我也确实要先完全理解这台，才有可能自己搞一台。”



“可别说了，我今天这心脏快受不了了。”



在梁总的坚持下，范总拉来了华芯国际的专业团队，准备把李颜研究室里的光刻机运回去搞测试。



光是怎么把这东西安全地弄回“包装盒”并