溅射加以逸除。只要这台设备制造完成，今后，我们只需要将半成品镜头交给它完成最终处理就可以了！这是我们现在获取光刻镜头的最优解！”



“大家请看，这台设备由离子源、萃取栅系统和反应腔3个主要部分组成。离子源通入氢气或其他稀有气体产生低温等离子体，从而提供低能量离子。”



“何总工，冒昧问下，我们如何的获取离子？”



“可以通过电子回旋微波共振等离子体技术来获取较高密度离子，这个技术我早就想好了，等下细说。”