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第626章 难道没有国外的技术,我们就造不出EUV光刻机吗?
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  林南深吸一口气,跟着站起来说道:“汪老说得对,咱们先按照分工,集中精力攻投影物镜系统的光路设计。”

  沪城光机所的专家立刻拿出图纸,指着上面复杂的光路结构:“投影物镜得把照明系统过来的光束精准聚焦到晶圆上,而且要消除各种像差,这对镜片的曲率精度要求比反射镜还高。

  我们之前设计的光路,在模拟环境中还存在0.5弧秒的像差偏差,得再优化。”

  汪象朝凑到图纸前补充道:“我查过资料,蔡司的投影物镜用了15片高精度镜片,每片的面形误差都控制在20皮米以内。

  我们要是能把像差偏差降到0.2弧秒以下,后续工艺跟上,说不定就能赶上他们的水平。”

  几人越聊越投入,当即围着图纸和电脑忙碌了起来。

  汪象朝负责调整光路模拟参数,林南则带领几人核算镜片曲率与像差的对应关系,剩下的研发人员也连忙压下此前的负面情绪,将精力快速投入到各自的工作中。

  ……

  ……

  次日一早,陈延森给陶静文打去电话,借助孟远志的关系,拿到了一张庐州科大的通行证,可自由进出光电实验室。

  镜面抛光和镀膜工艺,都得在实验中不断完善,才能找到优化方向。

  光靠理论推算,是得不出结果的。

  同一时间,林南也抽调了一批擅长超精密抛光技术的研发人员,派往庐州。

  当刘峰俊等人进入庐州科大的光电实验室时,刚好看见正在更换洁净服、佩戴无尘乳胶手套和无尘口罩的陈延森。

  他不是森联资本的创始人吗?

  为什么会在实验室里?

  “刘先生,幸会!”陈延森停下手中的动作,径直朝刘峰俊走去,随即伸出右手说道。

  “陈先生,您好。”刘峰俊虽然有一肚子的疑问,但他也不好直接发问。

  他是国防科大超精密加工团队的高阶研究员,博士学历,智力不俗。

  有这样的素养,就注定他不会说出低情商的话。

  “实验室刚调试完离子束抛光机,正好你们来了,一起看看参数。”

  陈延森收回右手,指向旁边的操作屏,上面跳动着密密麻麻的数据流,随后接着说道:“你们在沪城制作的镜面粗胚我看过了,硅基材质纯度够,初始面形误差还有3纳米,得先过磁流变抛光做预处理。”

  刘峰俊瞳孔微缩,心中巨震。

  他下意识走到操作屏前,目光落在磁流变抛光的预处理参数上。

  令他顿感惊讶的是,屏幕上不仅清晰列出了不同转速下研磨液的颗粒度配比、磁场强度梯度曲线,甚至还标注了“预处理后误差需控制在500皮米内”的明确节点。

  “陈先生,您提前算过硅基材料的应力释放曲线?”

  刘峰俊忍不住地追问道。

  要知道,硅基镜面在研磨过程中会因应力积累产生微小形变,这是超精密加工领域最棘手的难题,也是国内各大高校、研究所迟迟未能突破的技术障碍。

  如今,竟在这里见到了解决方案。

  他在该领域浸淫多年,正因为他懂,才知道这组参数背后藏着多少巧思。

  陈延森微微颔首:“硅基材料的应力释放有滞后性,预处理时得留0.3%的补偿量,不然抛光后冷却会出现回弹误差,先做事,有疑问随时问我。”

  “小王,按这个参数调磁流变抛光机,先测第一块粗胚的应力分布。”

  刘峰俊转头对身后的研究员吩咐,声音里带着难掩的急切。

  陈延森没再多说,转身走向另一台设备。

  接下来的一段日子,刘峰俊跟在陈延森屁股后面打转,完全是一副学生、助手兼跟班的姿态。

  他越深入了解,越能体会到陈延森在超精密加工领域的惊人天赋。

  曾几何时,刘峰俊也是高考状元,还考进了国防科大的少年班,在同龄人中属于科研天才,但在陈延森面前,却犹如蚍蜉望青天一般。

  陈延森每天只会在庐州科大待两个小时,大部分工作由刘峰俊等人承担。

  他们先开发了子孔径拼接技

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