到玻璃墙前，趴在玻璃上往里看。



“这外延炉。看着眼熟啊。”他指着其中一台设备。



“是华科精密的旧型号改造的。”陶安然如实回答。



“华科的旧设备？”王研究员愣住了，“那玩意儿的温场均匀性极差，你们用它来长碳化硅晶圆？”



陶安然没等他继续说，直接怼了回去。



“王老。设备是死的，人是活的。”



她走到控制台前，调出一张温度场分布云图。



“您看看这个。这是我们改造后的热场实测数据。”



王研究员凑近屏幕。



“径向温度梯度。正负0.3度？！”



他摘下防静电帽，用力揉了揉眼睛。



“这不可能！莱茵科技的最新型号也做不到这个精度！”



“我们做到了。”周德明从车间里走出来，手里拿着一个黑色的恒温箱。



他把恒温箱放在走廊的桌子上。打开。



里面静静地躺着一片六英寸的碳化硅晶圆。



通体透明。没有一丝杂色。在走廊的冷光灯下，散发着一种近乎完美的光泽。



“这是我们昨天刚切出来的一批晶圆中的一片。”周德明干巴巴地说，“国家级半导体材料检测中心的报告昨天也出了。微管缺陷率小于0.1个/平方厘米。”



王研究员颤抖着手，从口袋里掏出一个便携式高倍放大镜。



他凑近那片晶圆。



他摘下眼镜。拿出一块眼镜布，仔仔细细地擦了擦镜片。



“我干了三十年半导体设备研究。”王研究员的声音有些沙哑，“我一直以为，我们在第三代半导体材料上，至少落后国外十年。”



他重新戴上眼镜。看着那片晶圆。



“我以为我这辈子看不到了。”



他抬起头，看着陈启，看着陶安然，看着周德明。



“谢谢你们。”



这位头发花白的老专家，竟然微微弯下腰，鞠了一躬。



陈启赶紧上前一步，扶住他。



“王老。使不得。”



“当得起。”王研究员眼眶泛红，“你们这是在给中国的半导体产业开路啊！”



沈副司长站在一旁。他没有说话。



但他把这一切都看在了眼里。



考察结束。



沈副司长没有让随行人员跟着。他把陈启单独叫到了临时办公楼的一间小会议室里。



门关上。



沈副司长没有坐下。他走到窗前，看着外面正在热火朝天建设的工业园二期。



“陈总。”沈副司长。



“沈司长。”



“你们的数据，很硬。硬到超出了我们的预期，实体清单的事，上面已经知道了。美国人想掐死你们。”



陈启看着他。



“他们掐不死。”



“我知道。”沈副司长点点头，“你们用国产设备改出了世界顶级的精度。这不仅是启棠科技的胜利。这是一场漂亮的突围战。”



他走到陈启面前。



“陈总。国家不会让真正做实业、搞核心技术突破的企业孤军奋战。”



沈副司长压低了声音。



“回去我会如实向上面汇报。如果一切顺利。”



他停顿了一下。



“你们可能会收到一个邀请。加入‘国家芯片产业投资基金’被投企业名录的邀请。”



资金的支持，信用背书，国家意志的体现。